采用先进的进控制技术，能【néng】精密控制BCl3/NH3的流量和压力，炉膛【táng】内沉积气流稳定，压力波动小；
多通道工艺气路，配合旋转料台，无沉积死角；
多级尾气处理方式系统，能高【gāo】效处【chù】理方式腐蚀性尾气、固体副产物，环境友好；
可选配最新设计的防腐蚀真空机组，持续工作时间段长，维修率低；
适于工艺气氛：真空/H2/N2/Ar/BCl3/NH3。
| 参数\型号 | VCVD-0305-BN | VCVD-0608-BN | VCVD-0612-BN | VCVD-0812-BN | VCVD-1015-BN | VCVD-1218-BN | VCVD-1315-BN | VCVD-1520-BN |
| 工作区尺寸 φ×H（mm） | 300×500 | 600×800 | 600×1200 | 800×1200 | 1000×1500 | 1200×1800 | 1300×1500 | 1500×2000 |
| 最高温度（℃） | 2000 | |||||||
| 温度均匀性（℃） | ±5 | ±7.5/±10 | ±7.5/±10 | ±7.5/±10 | ±10/±15 | ±10/±15 | ±10/±15 | ±15/±20 |
| 极限真空度（Pa） | 1-100 | |||||||
| 压升率（Pa/h） | 0.67 | |||||||
| 加热方式 | 电阻 | |||||||
以上参数可根据工艺要求进行调整，不【bú】作为验收依【yī】据，具体以技术方案和协议为准。
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